表面改質(薄膜処理)

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表面改質(薄膜処理)

コーティング装置: RF式イオンプレーティング・真空蒸着・プラズマCVD・スパッタ法
対応膜種: 酸化膜、窒化膜、炭化膜、合金膜、光学膜

■Y203膜処理

SERD(CASP)は衝撃焼結被覆法(Shock Energy Reaction Deposition)と呼ばれ、大気圧・低温化で粉体を衝撃エネルギーでコーティングする方法。

●SERD膜:S(shock衝突)E(energyエネルギー)R(reaction反応)D(deposition堆積)