アモルファスカーボン

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アモルファスカーボン

アモルファスカーボンの特長

  • 高耐熱性
  • 耐薬品性
  • 無発塵
  • 気体、液体の不透過性
  • 高純度
  • X線高透過性
  • 気孔のない緻密な等方性組織


アモルファスカーボンの用途

プラズマエッチング、CVD用部材
スパッタリングターゲット
高純度耐薬品性部材
X線機器用部材


グラファイト製品

黒鉛製品(グラファイト)とは

グラファイトは多くの特徴を持ち、銅、鉄といった金属材料より優れた特性を有しています。
また、先端素材として脚光を浴びているファイン・セラミックと比較しても、その高温特性、高純度性、低放出ガス特性は、はるかに優れていることが実証されています。
グラファイトはいわば、金属でもなくセラミックでもない、その2つの特性を併せもったファインな素材と言えます。

Graphiteの特徴

1. 熱に強い
非酸化性雰囲気中なら3000℃でも使用可能で、熱衝撃にも強く、高温になるほど強度が増します。

2. 薬品に強い
化学薬品に対する抵抗力が強く、ほとんどの酸・アルカリ類に優れた耐蝕性を示します。

3. 軽い
黒鉛の真比重は2.26ですが、10~20%の気孔を持っていますので見掛比重は1.70~1.90程度です。

4. 電気・熱を伝え易い
電気及び熱の良導体です。

5. 熱膨張率が小さい
熱膨張係数が小さく、温度変化による寸法安定性に優れています。

6. 自己潤滑性がある
その結晶構造の劈開性により、潤滑性があるので、無給油で使用可能です。